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アライメントステージSA200DEのご紹介

2023.06.12

アライメントステージSA200DEは、高分解能リニアスケールと、フルクローズドループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現します。
半導体・液晶関連製造装置など、画像処理を利用したアライメント処理やクリーンな環境を要求される測定器や検査装置などの位置決め機構として最適です。

■XYθ軸の組合せが自由に
直線位置決め用のXテーブルである、SA200DE/Xを標準設定として新規追加しました。回転位置決め用であるSA200DE/Sと組み合わせることによって、XYθ軸の3方向に可動する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築することができます。

■薄形、コンパクト
コアレスリニアモータとIKOリニアウェイL、IKOクロスローラベアリングを採用。ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。

■省電力、高タクト
θ軸（SA200DE/S）のモータ設計を見直し、トルクUPを実現。従来品と比較して、省電力化、タクトタイム短縮を実現しました。